بازرسی سه بعدی قطعات صنعتی با مقایسه داده های بدست آمده و مستندات مرجع مورد بررسی، تجزیه و تحلیل قرار می گیرد. این بازرسی به صورت سطوح سه بعدی با طیف رنگی، مقاطع دو بعدی و بازرسی تلرانس های عددی و هندسی ( GD&T ) انجام می گیرد.
برای این منظور می توان فایل به دست آمده از اسکن سه بعدی قطعه مورد نظر جهت کنترل کیفی را به صورت طیف رنگی سه بعدی با فایل CAD مقایسه نمود و یا حتی این فایل را با فایل سه بعدی از قطعه شاهد بررسی نمود. این کنترل حتی می تواند در مقاطع دو بعدی انجام شود.
همچنین می توان ابعاد قطعه مورد نظر را از روی فایل سه بعدی اسکن شده با اندازه های موجود در نقشه دو بعدی کنترل نمود که در این حالت کاربر می تواند اندازه اسمی و تلرانس های عددی را وارد کرده و در نهایت میزان انحراف ابعاد قطعه نسبت به نقشه مشخص گردد.
